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研磨和拋光是兩個經常一起出現的術語，但它們有不同的概念。
研磨
研磨是一種微量加工的工藝技術，其通過在工作機器上借助研具以及研磨劑的力量，微量進給，在工件表面施加壓力，加以低速研磨不斷改變，去除工件上細微凸起的地方，以達到在被加工工件表面進行微量精密加工的目的；
在研具與工件接觸時，通過建模以及仿真壓力的作用，自行並僅對工件表面凸起不平處進行研磨加工，使研具與工件進行相互修正，逐步將工件表面的精度提高。
超精密研磨的加工精度主要是由工件與研具間的接觸性質和壓力特徵、以及相對運動軌跡的形態等因素決定的，與構成相對運動機床的精度可以說是無關的。
研磨好處
另外使用研磨加工的好處是，其適應性較好； 可以加工各種固體材料，如各種金屬材料、半導體材料、玻璃材料等； 以及加工平面、孔、外圓和硅片基片等常見固體材料形狀。
研磨加工相比較於其他表面處理技術來說，其所擁有的優勢是無法取代的。
超精密研磨比切削、磨削的加工，有著更高的加工精度和質量，較適合於平面精度加工的生產， 並且具有設備簡單、操作方便、加工精度高等優勢。
拋光
拋光是一種利用低彈性材料的拋光輪，或是使用低速旋轉的軟質彈性或高彈性材料的拋光輪，加上拋光膏（漿），摩擦工件從而獲得平整光亮的表面，是具有一定研磨性質的加工方法。
拋光輪一般用多層棉布、羊毛氈或麻布疊制而成，兩側用金屬套盤夾緊，在輪的邊緣處塗上由微粉磨料和油脂等均勻混合而成的拋光膏（漿）。
由於拋光使用的微細磨粒是在0.1µm～100µm範圍，所以其並不能提高工件幾何形狀的精度和尺寸的精度。拋光是以獲得光滑表面/鏡面光澤為目的，也可用於製作啞光拉絲效果（消除光澤）。
總的來說，研磨和拋光本質上並沒有太大的區別，只是在磨料和研具材料的選擇上有所不同。人們習慣上把使用硬質研具的加工方法稱為研磨，把使用軟質研具的方法稱為拋光。但實際上在超精密加工領域中，超精密研磨和超精密拋光沒有什麼區別。
